GB/T 18867-2014
電子工業用氣體 六氟化硫
Gases for electronic industry.Sulphur hexaflouride
GBT18867-2014, GB18867-2014
GB/T 18867-2014 發布歷史
GB/T 18867-2014由國家質檢總局 CN-GB 發布于 2014-12-22，并于 2015-07-01 實施。
GB/T 18867-2014 在中國標準分類中歸屬于: G86 工業氣體與化學氣體，在國際標準分類中歸屬于: 71.100.20 工業氣體。
GB/T 18867-2014 電子工業用氣體 六氟化硫的最新版本是哪一版？
最新版本是 GB/T 18867-2014 。
GB/T 18867-2014 發布之時，引用了標準
- GB 14193 液化氣體氣瓶充裝規定
- GB 15258 化學品安全標簽編寫規定
- GB 16804 氣瓶警示標簽
- GB 190 危險貨物包裝標志
- GB 5099 鋼質無縫氣瓶
- GB 7144 氣瓶顏色標志
- GB/T 12022 工業六氟化硫
- GB/T 26571 特種氣體儲存期規范
- GB/T 28726-2012 氣體分析.氦離子化氣相色譜法
- GB/T 3723 工業用化學產品采樣安全通則
- GB/T 5832.1 氣體分析 微量水分的測定 第1部分：電解法*， 2016-12-13 更新
- GB/T 5832.3 氣體中微量水分的測定.第3部分：光腔衰蕩光譜法
- GB/T 8170 數值修約規則與極限數值的表示和判定
* 在 GB/T 18867-2014 發布之后有更新，請注意新發布標準的變化。
GB/T 18867-2014的歷代版本如下：
- 2014年 GB/T 18867-2014 電子工業用氣體 六氟化硫
- 2002年 GB/T 18867-2002 電子工業用氣體 六氟化硫
本標準規定了六氟化硫的技術要求、試驗方法、標志、包裝、貯存及安全等。 本標準適用于硫與氟直接反應并經精制和純化制備的六氟化硫”該產品主要用作電子工業中化學氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等。 分子式=SFs”相對分子質量j4皂O跚4192〔按2007 年國際相對原子質量計算)。
- 標準號
- GB/T 18867-2014
- 別名
- GBT18867-2014
GB18867-2014 - 發布
- 2014年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 18867-2014
- 引用標準
- GB 14193 GB 15258 GB 16804 GB 190 GB 5099 GB 7144 GB/T 12022 GB/T 26571 GB/T 28726-2012 GB/T 3723 GB/T 5832.1 GB/T 5832.3 GB/T 8170 危險化學品安全管理條例(2002版) 氣瓶安全監察規程(2000版)
- 被代替標準
- GB/T 18867-2002
GB/T 18867-2014相似標準
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