GB/T 18867-2014
電子工業用氣體 六氟化硫
Gases for electronic industry.Sulphur hexaflouride
GBT18867-2014, GB18867-2014
- 標準號
- GB/T 18867-2014
- 別名
- GBT18867-2014
GB18867-2014 - 發布
- 2014年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 18867-2014
- 引用標準
- GB 14193 GB 15258 GB 16804 GB 190 GB 5099 GB 7144 GB/T 12022 GB/T 26571 GB/T 28726-2012 GB/T 3723 GB/T 5832.1 GB/T 5832.3 GB/T 8170 危險化學品安全管理條例(2002版) 氣瓶安全監察規程(2000版)
- 被代替標準
- GB/T 18867-2002
- 本標準規定了六氟化硫的技術要求、試驗方法、標志、包裝、貯存及安全等。 本標準適用于硫與氟直接反應并經精制和純化制備的六氟化硫”該產品主要用作電子工業中化學氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等。 分子式=SFs”相對分子質量j4皂O跚4192〔按2007 年國際相對原子質量計算)。
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