GB/T 30453-2013
硅材料原生缺陷圖譜

Metallographs collection for original defects of crystalline silicon

GBT30453-2013, GB30453-2013

標準號

GB/T 30453-2013

別名

GBT30453-2013, GB30453-2013

發布

2013年

發布單位

國家質檢總局

當前最新

GB/T 30453-2013

 

 

引用標準

GB/T 14264 GB/T 1554 GB/T 4058

適用范圍

本標準給出了硅多晶、硅單晶、硅片和硅外延片等硅材料的各種原生缺陷及其密切相關誘生缺陷的術語及其形貌特征圖譜。分析了其產生的原因和消除方法。本標準適用于硅多晶、硅單晶、硅片和硅外延片等硅材料生產研究中各種缺陷的檢驗。硅器件、集成電路的生產研究也可參考本標準。

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