GB/T 1554-1995
硅晶體完整性化學擇優腐蝕檢驗方法

Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

GBT1554-1995, GB1554-1995

被代替

標準號

GB/T 1554-1995

別名

GBT1554-1995, GB1554-1995

發布

1995年

發布單位

國家質檢總局

替代標準

GB/T 1554-2009

當前最新

GB/T 1554-2009

 

 

適用范圍

本標準規定了用擇優腐蝕技術檢驗硅晶體完整性的方法。 本標準適用于晶向為<111>或<100>、電阻率為10^-3～10⁴Ω·cm、位錯密度在0～10⁵cm^-2之間的硅單晶錠或硅片中原生缺陷的檢驗。

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