GB/T 29658-2013
電子薄膜用高純鋁及鋁合金濺射靶材
High-purity sputtering aluminium and aluminium alloy target used in electronic film
GBT29658-2013, GB29658-2013
- 標準號
- GB/T 29658-2013
- 別名
- GBT29658-2013, GB29658-2013
- 發布
- 2013年
- 總頁數
- 10頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 29658-2013
- 引用標準
- GB/T 14265 GB/T 15823 GB/T 1804 GB/T 20975.25 GB/T 6394 GJB 1580A JB/T 4734 YS/T 837 YS/T 871
- 適用范圍
- 本標準規定了電子薄膜制備用高純鋁及鋁合金靶材的要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸、存貯、訂貨單(或合同)等內容。本標準適用于電子薄膜用各類高純鋁及鋁合金濺射靶材(以下簡稱鋁靶)。