因此,波譜儀是通過機械裝置的運動改變距離L來實現成分分析。但波譜儀對分析條件要求苛刻,如電子束流要大于0.1μA,樣品要求非常平整并且只能水平放置,準確的成分定量分析還需要相關的標準樣品并在相同工作條件下作對比分析,對主機的穩定度也要求極高,操作方面也較為復雜,工作效率很低,但分析精度方面比能譜儀精度更高,可以做成分的定量分析。...
因此能譜儀的檢測效率較高。 ②空間分析能力:能譜儀因檢測效率高,可在較小的電子束流下工作,使束斑直徑減小,空間分析能力提高。目前,在分析電鏡中的微束操作方式下能譜儀分析的最小微區已經達到納米數量級,而波譜儀的空間分辨率僅處于微米數量級。 ③分辨本領:能譜儀的最佳能量分辨本領為149eV,波譜儀的波長分辨本領表述為能量的形式后相當于5-10eV,可見波譜儀的分辨本領比能譜儀高一個數量級。 ...
目前,在分析電鏡中的微束操作方式下能譜儀分析的最小微區已經達到納米數量級,而波譜儀的空間分辨率僅處于微米數量級。分析速度能譜儀可在同一時間內對分析點內的所有X射線光子的能量進行檢測和計數,僅需幾分鐘時間可得到全譜定性分析結果;波譜儀只能逐個測定每一元素的特征波長,一次全分析往往需要幾個小時。...
幾乎所有的掃描電子顯微鏡(REM)都配備有能譜儀,而我們不僅有能譜儀,還有波譜儀,因此有兩種物理分析手段:能譜電子探針微分析(ED-ESMA)和波譜電子探針微分析(WD-ESMA)。通過X 射線光譜可以很精確地推算出材料中近表面的分析體積的元素主、副以及微量的成分。...
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