1.顯微結構分析 電子探針是利用0.5μm-1μm的高能電子束激發待分析的樣品,通過電子與樣品的相互作用產生的特征X射線、二次電子、吸收電子、 背散射電子及陰極熒光等信息來分析樣品的微區內(μm范圍內)成份、形貌和化學結合狀態等特征。電子探針是幾個μm范圍內的微區分析, 微區分析是它的一個重要特點之一, 它能將微區化學成份與顯微結構對應起來,是一種顯微結構的分析。 2....
EMPA主要追求微區化學定量結果精準,因此電子光學分辨率設計相對寬松,電子顯微分析對匯聚束束電流要求較大,束斑較粗。 早期EPMA成像手段主要采用同軸光學顯微鏡,然后移動樣品臺或移動匯聚電子束,找到感興趣區,當前依然保留同軸光鏡,用來校準WD。EMPA對電子光學系統工作條件的穩定性要求超過SEM很多很多,控制系統增加了一些負反饋機制,確保分析條件和標樣分析保持很小的誤差。 ...
當晶體中摻入雜質原子時,一般會在 滿帶與導帶的能量間隔中產生局部化的能級 G 和 A, 這可能是屬于這些激活原 子本身的能級,也可能是在激活原子的微擾下主體原子的能級。在基態時,G 能級被電子所 占據,A 能級是空的。在激發態則相反。樣品在入射電子的激發下產生大量自 由載流子,滿帶中的空穴很快就被 G 能級上的電子所捕獲, 而導帶中的電子為 A 能級所陷 住。...
通常來說,電子探針-能譜定量分析可能比較容易,而對于掃描電鏡能譜定量分析,則難度較大,但也是完全可以實現的。 GB/T 20726-2006 ISO 15632:2002微束分析-半導體探測器X射線能譜儀通則,該標準規定了表征以半導體探測器、前置放大器和信號處理系統為基本構成的X射線能譜儀(EDS)特性最重要的量值。...
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