ASTM D5127-13
電子學和半導體工業用超純水的標準指南
Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries
- 標準號
- ASTM D5127-13
- 發布
- 2013年
- 發布單位
- 美國材料與試驗協會
- 替代標準
- ASTM D5127-13(2018)
- 當前最新
- ASTM D5127-13(2018)
- 引用標準
- ASTM D1129 ASTM D1193 ASTM D1976 ASTM D2791 ASTM D3919 ASTM D4191 ASTM D4192 ASTM D4327 ASTM D4453 ASTM D4517 ASTM D5173 ASTM D5196 ASTM D5391 ASTM D5462 ASTM D5542 ASTM D5544 ASTM D5673 ASTM D5996 ASTM D5997 ASTM F1094
- 適用范圍
- 1.1 類型 E-1.2B 類型E-1.3B型 E-2型 E-3型 E-4型 線寬（微米） 1.0–0.5 0.35–0.25 0.18x2……
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