GB/T 29057-2012
用區熔拉晶法和光譜分析法評價多晶硅棒的規程
Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy
GBT29057-2012, GB29057-2012
說明：
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- 標準號
- GB/T 29057-2012
- 別名
- GBT29057-2012
GB29057-2012 - 發布
- 2012年
- 采用標準
- SEMI MF 1723-1104 MOD
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 29057-2012
- 適用范圍
- 2.1本標準包括多晶硅棒取樣、將樣品區熔拉制成單晶以及通過光譜分析法對拉制好的單晶硅棒進行分析以確定多晶硅中痕量雜質的程序。這些痕量雜質包括施主雜質(通常是磷或砷,或二者兼有)、受主雜質(通常是硼或鋁,或二者兼有)及碳雜質。2.2本標準中適用的雜質濃度測定范圍:施主和受主雜質為(0.002~100)ppba(十億分之一原子比),碳雜質為(0.02~15)ppma(百萬分之一原子比)。樣品中的這些雜質是通過低溫紅外光譜法或光致發光光譜法分析的。2.3本標準僅適用于評價在硅芯上沉積生長的多晶硅棒。
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