JC/T 181-2011
半導體用透明石英玻璃器件
Transparent quartz glass devices for semiconductor
JCT181-2011, JC181-2011
- 標準號
- JC/T 181-2011
- 別名
- JCT181-2011
JC181-2011 - 發布
- 2011年
- 發布單位
- 行業標準-建材
- 當前最新
- JC/T 181-2011
- 引用標準
- JC/T 2064-2011 JC/T 597-2011
- 被代替標準
- JC/T 181-1981
- 本標準規定了半導體用透明石英玻璃器件的術語和定義、分類和標記、材料、要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸和貯存等。 本標準適用于半導體行業生產中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃擴散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保溫桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。 其他用途的透明石英玻璃器件可參照本標準執行。
JC/T 181-2011相似標準
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