JC/T 181-2011
半導體用透明石英玻璃器件
Transparent quartz glass devices for semiconductor
說明：
- 此圖僅顯示與當前標準最近的5級引用；
- 鼠標放置在圖上可以看到標題編號；
- 此圖可以通過鼠標滾輪放大或者縮小；
- 表示標準的節點，可以拖動；
- 綠色表示標準：JC/T 181-2011 ， 綠色、紅色表示本平臺存在此標準，您可以下載或者購買，灰色表示平臺不存在此標準；
- 箭頭終點方向的標準引用了起點方向的標準。
- 標準號
- JC/T 181-2011
- 發布日期
- 2011年12月20日
- 實施日期
- 2012年07月01日
- 廢止日期
- 無
- 中國標準分類號
- Q35
- 國際標準分類號
- 81.040.30
- 發布單位
- CN-JC
- 引用標準
- JC/T 597-2011 JC/T 2064-2011
- 被代替標準
- JC/T 181-1981
- 適用范圍
- 本標準規定了半導體用透明石英玻璃器件的術語和定義、分類和標記、材料、要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸和貯存等。 本標準適用于半導體行業生產中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃擴散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保溫桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。 其他用途的透明石英玻璃器件可參照本標準執行。