JIS B 9960-33:2012
機械安全性.機械電氣設備.第33部分:半導體制造設備要求

Safety of machinery -- Electrical equipment of machines -- Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

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標準號

JIS B 9960-33:2012

發布

2012年

發布單位

日本工業標準調查會

當前最新

JIS B 9960-33:2012

 

 

引用標準

IEC 60034-11-2004 IEC 60038 IEC 60072 IEC 60417 IEC 61508-3 IEC 61557-3-2007 IEC 61800-5-1-2007 JIS B 9700-2 JIS B 9705-1 JIS B 9706-1 JIS B 9706-2 JIS B 9706-3 JIS B 9712 JIS B 9961 JIS C 0445 JIS C 0446 JIS C 0447 JIS C 0448 JIS C 0617 JIS C 0920 JIS C 0922 JIS C 1010-1 JIS C 60364-4-41 JIS C 60364-4-43 JIS C 60364-6 JIS C 60695-11-10 JIS C 61558-1 JIS C 61558-2-6 JIS C 6950-1 JIS C 8201-3

適用范圍

This Standard applies to electrical and electronic equipment (see definition 3.20) associated with semiconductor fabrication equipment (see definition 3.28) for the manufacture,measurement,assembly,and test of semiconductors.

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