GB/T 26307-2010
銀靶
Silver target
GBT26307-2010, GB26307-2010
- 標準號
- GB/T 26307-2010
- 別名
- GBT26307-2010, GB26307-2010
- 發布
- 2011年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 26307-2010
- 引用標準
- GB/T 11067.1 GB/T 11067.2 GB/T 11067.3 GB/T 11067.4 GB/T 11067.5 GB/T 11067.6 GB/T 11067.7 GB/T 15077 GB/T 4135 GB/T 6394
- 適用范圍
- 本標準規定了銀靶的要求、試驗方法、檢驗規則和標志、包裝、運輸、貯存及質量證明書與訂貨單(或合同)內容。 本標準適用于半導體器件用的各類銀濺射靶材(以下簡稱銀靶)。其他用途的靶材也可參照使用。