JIS B 9917-3:2009
清潔室及相關受控環境.第3部分:試驗方法

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 3: Test methods

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標準號: JIS B 9917-3:2009
發布: 2009年
發布單位: 日本工業標準調查會
當前最新: JIS B 9917-3:2009

引用標準: ISO 14644-2:2000 JIS B 9920:2002 JIS B 9921 JIS Z 8122

適用范圍: 本標準規定了空氣顆粒潔凈度指定分類以及表征潔凈室和潔凈區性能的測試方法。

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