XPS作為研究材料表面和界面電子及原子結構的最重要手段之一,原則上可以測定元素周期表上除氫、氦以外的所有元素。其主要功能及應用有三方面:第一,可提供物質表面幾個原子層的元素定性、定量信息和化學狀態信息;第二,可對非均相覆蓋層進行深度分布分析,了解元素隨深度分布的情況;第三,可對元素及其化學態進行成像,給出不同化學態的不同元素在表面的分布圖像等。 ...
XPS作為研究材料表面和界面電子及原子結構的最重要手段之一,原則上可以測定元素周期表上除氫、氦以外的所有元素。其主要功能及應用有三方面:第一,可提供物質表面幾個原子層的元素定性、定量信息和化學狀態信息;第二,可對非均相覆蓋層進行深度分布分析,了解元素隨深度分布的情況;第三,可對元素及其化學態進行成像,給出不同化學態的不同元素在表面的分布圖像等。 ...
該平臺基本涵蓋了目前先進的物質微觀特性表征的技術手段,能夠完成物質材料微觀形態的表面和結構的精密測量和分析,最高分辨率:0.01nm,可觀察原子圖像; 第三、功能薄膜材料制備平臺,擁有以分子束外延生長為主,以及用于晶體刻蝕和相關器件封裝為輔的設備系統,能夠在原子尺度上精確控制外延厚度、摻雜和界面平整的超薄層薄膜制備技術,可以生長高質量的異質化合物半導體薄膜; 第四、納米制備平臺。...
直流輝光放電(DC-GD)模式用于分析導體樣品,射頻輝光放電(RF-GD)式可以分所有固體(導體、半導體、絕緣體)。GD作為AES的激發光源對樣品表面具有賤射和激發能力,有利于進行逐層分析和薄層樣品的分析。從而使發射光譜分析的應用擴大到材料表的解分析:將返射光譜分析推向又一新的應用領域。...
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