ASTM E493-06
在雙面試驗模式中用質譜儀檢漏器做泄漏檢驗的標準試驗方法

Standard Test Methods for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Inside-Out Testing Mode

被代替

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標準號

ASTM E493-06

發布

2006年

發布單位

美國材料與試驗協會

替代標準

ASTM E493/E493M-11

當前最新

ASTM E493/E493M-11(2022)

 

 

適用范圍

方法 A 或 B 可用于測試具有內部容積的氣密密封設備。微電子設備已確定了最大可接受泄漏率，以確保在預計使用壽命內性能特征不會受到空氣、水蒸氣或其他污染物泄漏的影響。必須注意控制爆炸壓力、爆炸時間和爆炸后的停留時間，否則結果可能會有很大差異。
1.1 這些測試方法涵蓋測試前密封的設備的程序，例如半導體、密封繼電器、煙火設備等，以防止通過外殼壁的泄漏。它們可以以不同程度的靈敏度使用（取決于內部體積、外殼的強度、可用于準備測試的時間以及外殼材料對氦氣的吸附特性）。在一般實踐中，氦氣的靈敏度限值為 4.4 1015 至 4.4 10 11 摩爾/秒（0C 時為 109 標準 cm3/s 至 105 標準 cm3/s），盡管在某些情況下，這些限值可能會在任一方向上超出數十年。 .1.2 描述了兩種測試方法：
1.2.1 測試方法 A 通過爆炸進行測試零件準備。
1.2.2 測試方法 B 通過預填充進行測試零件準備。本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有） 。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。

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