ASTM F50-92(2001)e1
使用能檢測單個亞測微計及較大粒子的儀器在控制塵埃區域及無菌區中連續測定空氣中懸浮粒子的大小及計數

Standard Practice for Continuous Sizing and Counting of Airborne Particles in Dust-Controlled Areas and Clean Rooms Using Instruments Capable of Detecting Single Sub-Micrometre and Larger Particles

被代替

標準號

ASTM F50-92(2001)e1

發布

1992年

發布單位

美國材料與試驗協會

替代標準

ASTM F50-07

當前最新

ASTM F50-21

 

 

適用范圍

本實踐的主要目的是描述一種收集清潔區域中空氣顆粒濃度和尺寸分布的近實時數據的程序，如單顆粒計數技術所示。一些政府和行業規范的實施需要使用 SPC 采集顆粒尺寸和濃度數據。在潔凈室中制造的許多產品的加工要求涉及的環境清潔度水平非常低，以至于需要能夠檢測非常小的顆粒的單個顆粒計數器來表征潔凈室空氣。只有使用 SPC 才能獲得尺寸范圍從小于 0.1 米到 5 米及更大的空氣顆粒濃度的實時信息。大于約 0.05 μm 的顆粒的定義可以通過直接測量單個顆粒的光散射來進行；對于較小的顆粒可能需要其他技術，例如在顆粒測量之前通過冷凝進行初步生長。粒徑數據參考用于校準 SPC 的顆粒系統。不同 SPC 之間檢測、電子和樣品處理系統的差異可能會導致顆粒特征的差異。在嘗試比較成分或形狀與校準基礎材料顯著不同的顆粒的數據時必須小心。使用具有不同操作參數的類似顆粒傳感系統的儀器之間也可能會出現差異。應通過使用 SPC 校準和操作的標準方法來認識并盡量減少這些影響。在應用這種實踐時，基本假設是通過 SPC 的樣品中的顆粒代表了正在分析的整個粉塵控制區域中的顆粒。需要注意使用良好的采樣程序，并且在樣品處理和分析過程中的任何時候都不會產生任何偽影；這些預防措施在 SPC 的驗證和操作中都是必要的。
1.1 本實踐涵蓋了粉塵控制區域和潔凈室中空氣顆粒濃度（按數量）和尺寸分布的確定（對于尺寸范圍內的顆粒）大約0.01至5.0μm。對于所有等于或大于測量的最小尺寸的顆粒，顆粒濃度不超過 3.5 X 106 顆粒/立方米（100 000/立方英尺）。
1.2 這種做法使用機載單顆粒計數裝置（SPC），其操作基于測量通過傳感區域的單個顆粒產生的信號。信號必須與顆粒尺寸直接或間接相關。注 1-此處未指定 SPC 類型。 SPC 可以是傳統的光學粒子計數器 (OPC)、空氣動力學粒子測定器、與擴散電池或微分遷移率分析儀結合運行的凝聚核計數器 (CNC)，或任何其他能夠對粒子中的單個粒子進行計數和大小測定的設備。關注的尺寸范圍和潔凈室環境中的采樣。
1.3 按照本慣例執行測試的人員應接受 SPC 使用培訓并了解其操作。
1.4 由于空氣中顆粒物的濃度和粒徑分布不斷變化，采樣探頭配置、位置和采樣時間的選擇都會影響采樣結果。此外，不同 SPC 之間物理測量、電子和樣品處理系統的差異以及被測量的各種顆粒的物理特性的差異可能會導致測試結果的變化。

專題

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