特點： 1）在中溫或高溫下，通過氣態的初始化合物之間的氣相化學反應而形成固體物質沉積在基體上。 2）可以在常壓或者真空條件下(負壓“進行沉積、通常真空沉積膜層質量較好）。 3）采用等離子和激光輔助技術可以顯著地促進化學反應，使沉積可在較低的溫度下進行。 4）涂層的化學成分可以隨氣相組成的改變而變化，從而獲得梯度沉積物或者得到混合鍍層。 5）可以控制涂層的密度和涂層純度。 6）繞鍍件好。...
可動載流子密度遠低于施主和受主的固定電荷密度的區域。53. Depletion width：耗盡寬度。53中提到的耗盡層這個區域的寬度。54. Deposition：淀積。一種在圓片上淀積一定厚度的且不和下面層次發生化學反應的薄膜的一種方法。55. Depth of focus（DOF）：焦深。...
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