BS EN 62047-3:2006
半導體器件.微機電設備.拉伸測試的薄膜標準試樣
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Thin film standard test piece for tensile testing
- 標準號
- BS EN 62047-3:2006
- 發布
- 2006年
- 發布單位
- 英國標準學會
- 當前最新
- BS EN 62047-3:2006
- 引用標準
- IEC 62047-2 ISO 17561
- 被代替標準
- 05/30104054 DC-2005
- 適用范圍
- 本國際標準規定了一種標準試件，用于保證長度和寬度在1mm以下、厚度在10μm以下的薄膜材料拉伸測試系統的適當性和準確性，這些薄膜材料是微機電系統（MEMS）的主要結構材料。 ）、微型機械和類似設備。 本國際標準基于這樣的理念：當預先確定的標準試件的拉伸強度所測得的拉伸強度在指定范圍內時，拉伸測試系統的適當性和準確性就能得到保證。 它還指定了測試件，以盡量減少測試件之間的特性偏差。
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