BS EN 62047-3:2006
半導體器件.微機電設備.拉伸測試的薄膜標準試樣
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Thin film standard test piece for tensile testing
BS EN 62047-3:2006 發布歷史
BS EN 62047-3:2006由英國標準學會 GB-BSI 發布于 2006-11-30，并于 2006-11-30 實施。
BS EN 62047-3:2006 在中國標準分類中歸屬于: L33 電子設備專用微特電機，在國際標準分類中歸屬于: 31.080.01 半導體器分立件綜合。
BS EN 62047-3:2006 發布之時，引用了標準
- IEC 62047-2 半導體裝置.微型機電裝置.第2部分:薄膜材料的拉伸試驗方法
- ISO 17561 精細陶瓷(高級陶瓷、高級工業陶瓷).室溫下通過聲共振對整塊陶瓷彈性模量的試驗方法*， 2016-07-01 更新
* 在 BS EN 62047-3:2006 發布之后有更新，請注意新發布標準的變化。
BS EN 62047-3:2006的歷代版本如下：
- 2006年 BS EN 62047-3:2006 半導體器件.微機電設備.拉伸測試的薄膜標準試樣
本國際標準規定了一種標準試件，用于保證長度和寬度在1mm以下、厚度在10μm以下的薄膜材料拉伸測試系統的適當性和準確性，這些薄膜材料是微機電系統（MEMS）的主要結構材料。 ）、微型機械和類似設備。 本國際標準基于這樣的理念：當預先確定的標準試件的拉伸強度所測得的拉伸強度在指定范圍內時，拉伸測試系統的適當性和準確性就能得到保證。 它還指定了測試件，以盡量減少測試件之間的特性偏差。
- 標準號
- BS EN 62047-3:2006
- 發布
- 2006年
- 發布單位
- 英國標準學會
- 當前最新
- BS EN 62047-3:2006
- 引用標準
- IEC 62047-2 ISO 17561
- 被代替標準
- 05/30104054 DC-2005
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