ISO 22309:2006
微電子束分析.用能量散射光譜儀(EDS)進行定量分析
Microbeam analysis - Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS)
- 標準號
- ISO 22309:2006
- 發布
- 2006年
- 總頁數
- 30頁
- 中文版
- GB/T 17359-2012 (等同采用的中文版本)
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 替代標準
- ISO 22309:2011
- 當前最新
- ISO 22309:2011
- 引用標準
- ISO 14594 ISO 15632:2002 ISO 16700:2004 ISO/IEC 17025:2005
- 適用范圍
- 本國際標準為使用安裝在掃描電子顯微鏡（SEM）或電子探針微量分析儀（EPMA）上的能量色散光譜（EDS）對樣品的特定點或區域進行定量分析提供了指導；任何量的表達，即以百分比（質量分數）表示，如大/小或主要/次要量都被認為是定量的。 正確識別樣品中存在的所有元素是定量分析的必要部分，因此在本國際標準中得到考慮。 本國際標準提供了各種方法的指導，適用于使用參考材料或“無標”程序對質量分數低至 1% 的常規定量分析。 它可以放心地用于原子序數 Z > 10 的元素。 還給出了 Z < 11 的輕元素分析指南。 注意：當沒有峰值重疊并且相關特征線被強烈激發時，可以測量低至 0.1% 的質量分數。 本國際標準主要適用于平坦拋光樣品表面的定量分析。 基本程序也適用于沒有拋光表面的樣本的分析，但會引入額外的不確定性成分。 對于輕元素的精確定量 EDS 分析，目前還沒有公認的方法。 然而，確實存在多種 EDS 方法。 這些是以下。 a) 以與較重元素相同的方式測量峰面積并比較強度。 由于附錄 D 中解釋的原因，輕元素結果的不確定性和不準確性將大于重元素結果。 b) 當已知樣品中的輕元素與較重元素（Z > 10）按化學計量結合時，其濃度可以通過將其他元素的適當濃度比例相加來確定。 這通常用于分析硅酸鹽礦物樣本中的氧。 c) 通過差值計算濃度，其中輕元素百分比為 100% 減去分析元素的百分比總和。 這種方法只有在良好的束流穩定性和至少一個參考樣品的單獨測量的情況下才可能實現，并且需要對樣品中的其他元素進行非常準確的分析。 附錄 D 總結了輕元素分析的問題，以及重元素定量分析中存在的問題。 如果 EDS 和波長光譜 (WDS) 都可用，則 WDS 可用于克服 EDS 在低能量下出現的峰重疊問題。 然而，這兩種技術都存在許多共同的其他問題。