表面化學分析 濺射深度剖析 用層狀膜系為參考物質的優化方法, 您可以免費下載預覽頁
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4、元素沿深度方向的分布分析Ar?離子剝離深度分析方法是一種使用最廣泛的深度剖析方法。它是先把表面一定厚度的元素濺射掉,然后用XPS?分析剝離后的表面元素含量,從而獲得元素沿樣品深度方向的分布。這是一種破壞性分析方法,會引起樣品表面晶格損傷,擇優濺射和表面原子混合等現象。但其優點是可以分析表面層較厚的體系,深度分析速度快。...
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