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  • ISO 14606:2000
    表面化學分析 濺射深度剖析 用層狀膜系為參考物質的優化方法

    Surface chemical analysis - Sputter depth profiling - Optimization using layered systems as reference materials


     

     

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    標準號
    ISO 14606:2000
    發布
    2000年
    中文版
    GB/T 20175-2006 (等同采用的中文版本)
    發布單位
    國際標準化組織
    替代標準
    ISO 14606:2015
    當前最新
    ISO 14606:2022
     
     
    適用范圍
    本國際標準為使用適當的單層和多層參考材料優化濺射深度分析參數提供了指導,以便根據俄歇電子能譜、X射線光電子能譜和二次離子質量中的儀器設置實現最佳深度分辨率光譜測定法。 本國際標準無意涵蓋特殊多層系統的使用,例如δ摻雜層。

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