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GB/T 17169-1997
硅拋光片和外延片表面質量光反射測試方法

Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection

GBT17169-1997, GB17169-1997

作廢

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標準號: GB/T 17169-1997
別名: GBT17169-1997, GB17169-1997
發布: 1997年
發布單位: 國家質檢總局
當前最新: GB/T 17169-1997

適用范圍: 本標準規定了半導體硅拋光片和外延片表面常見缺陷的光反射無損檢驗方法。本標準適用于半導體硅拋光片和外延片表面質量的無損檢驗。本標準的檢驗結果與GB/T6624、GB/T14142的檢驗結果一致。

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