從整個集成電路范疇講,除半導體集成電路外,還有厚膜電路與薄膜電路。 ①厚膜電路。以陶瓷為基片,用絲網印刷和燒結等工藝手段制備無源元件和互連導線,然后與晶體管、二極管和集成電路芯片以及分立電容等元件混合組裝而成。 ②薄膜電路。有全膜和混合之分。所謂全膜電路,就是指構成一個完整電路所需的全部有源元件、無源元件和互連導體,皆用薄膜工藝在絕緣基片上制成。...
什么是厚膜電路:用絲網印刷和燒結等厚膜工藝在同一基片上制作無源網絡,并在其上組裝分立的半導體器件芯片或單片集成電路或微型元件,再外加封裝而成的混合集成電路。?...
集成電路按制作工藝可分為半導體集成電路和膜集成電路。膜集成電路又分類厚膜集成電路和薄膜集成電路。...
主要指標:傾角誤差:< 1°周期誤差:< 2 nm檢測效率:> 20 pcs/h單層/多層薄膜厚度檢測- 集成電路設備模組 -膜厚測量解決方案 filmX:多種測試系統形態,兼容不同膜厚測量場景,實現高精度、便捷的膜厚測量,適配產線使用。...
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