ASTM E2246-11(2018)
使用光學干涉儀的薄的反射膜的應變梯度測量的標準測試方法
Standard Test Method for Strain Gradient Measurements of Thin, Reflecting Films Using an Optical Interferometer
- 標準號
- ASTM E2246-11(2018)
- 發布
- 2018年
- 發布單位
- 美國材料與試驗協會
- 當前最新
- ASTM E2246-11(2018)
- 引用標準
- ASTM E2244 ASTM E2245 ASTM E2444 ASTM E2530
- 適用范圍
- 1.1 本測試方法涵蓋了測量反射薄膜應變梯度的程序。它僅適用于薄膜，例如微機電系統 (MEMS) 材料中的薄膜，可以使用光學干涉儀（也稱為干涉顯微鏡）對其進行成像。不接受接觸底層的懸臂進行的測量。
1.2 本測試方法使用非接觸式光學干涉顯微鏡，能夠獲取地形 3-D 數據集。它是在實驗室進行的。
1.3 本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任建立適當的安全、健康和環境實踐，并在使用前確定監管限制的適用性。
1.4 本國際標準是根據世界貿易組織貿易技術壁壘（TBT）委員會發布的《關于制定國際標準、指南和建議的原則的決定》中確立的國際公認的標準化原則制定的。