DIN EN ISO 14644-9 E:2022-02
潔凈室和相關控制環境 第9部分：微粒濃度法進行表面潔凈度分類（草案）
Clean rooms and related controlled environments Part 9: Surface cleanliness classification by particle concentration method (draft)
- 標準號
- DIN EN ISO 14644-9 E:2022-02
- 發布
- 2022年
- 發布單位
- 德國標準化學會
- 替代標準
- DIN EN ISO 14644-9:2022-10
- 當前最新
- DIN EN ISO 14644-9:2022-10
DIN EN ISO 14644-9 E:2022-02相似標準
BS EN ISO 14644-9:2012 潔凈室和相關控制環境. 微粒濃度法進行表面潔凈度分類
NF X44-101-10*NF EN ISO 14644-10:2013 潔凈室和相關控制環境 第10部分：化學濃度法進行表面潔凈度分類
DANSK DS/EN ISO 14644-9:2012 潔凈室和相關受控環境 第9部分：按顆粒濃度對表面清潔度進行分類
DANSK DS/ISO 14644-9:2022 潔凈室和相關受控環境 第9部分：表面潔凈度顆粒濃度評估
DIN EN ISO 14644-9:2008 潔凈室和相關控制環境. 第9部分:微粒濃度法進行表面潔凈度分類 (ISO/DIS 14644-9-2008); 德文版本prEN ISO 14644-9-2008