DANSK DS/ISO 14644-9:2022
潔凈室和相關受控環境第9部分：表面潔凈度顆粒濃度評估

Cleanrooms and associated controlled environments – Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration

適用范圍: 本文件建立了潔凈室和相關受控環境應用中固體表面顆粒清潔度水平的評估程序。附件 A 至 D 提供了有關測試和測量方法的建議以及有關表面特性的信息。本文件適用于潔凈室和相關受控環境中的所有固體表面，例如墻壁、天花板、地板、工作環境、工具、設備和產品。通過顆粒濃度 (SCP) 評估表面清潔度的程序僅限于 0.05 μm 至 500 μm 之間的顆粒。本文件不考慮以下問題： – 特定工藝對表面清潔度和適用性的要求； – 表面清潔程序； – 材料特性； – 涉及通常與時間和工藝相關的相互作用鍵合力或生成過程； – 選擇和使用統計方法進行評估和測試； – 顆粒的其他特性，例如靜電荷、離子電荷和微生物狀態。

術語	描述
特定粒徑范圍描述符 descriptor for specific particle size ranges	表示通過顆粒濃度（SCP）等級在特定粒徑范圍內表達表面清潔度的描述符
直接測量方法 direct measurement method	未經任何中間步驟的污染評估方法
間接測量方法 indirect measurement method	帶有中間步驟的污染評估方法