高溫環境引起的熱輻射損耗會導致傳感器器件有較大的聲波衰減,因此在這種環境下工作的傳感器應具有足夠大的品質因數(Q)且損耗較低。傳統的有線有源傳感器不能用于高溫環境下的溫度測量,而基于聲表面波(surface acoustic wave,SAW)的無線無源溫度傳感器為此提供了良好的解決方案。 ...
聲表面波在氫敏感膜吸附氫氣前后的光學特性會發生改變, 通過測量頻率變化量,可以檢測氫氣濃度。 該傳感器測量精度高, 但是其敏感膜易受腐蝕,壽命短且成本較高。 3)光聲氫氣傳感器 光聲氣體傳感器的基本原理是基于氣體的光聲效應。...
聲表面波氣敏傳感器在壓電晶體涂覆一層有選擇吸附某氣體的氣敏薄膜,當該氣敏薄膜與待測氣體相互作用,使得氣敏薄膜的膜層質量、粘彈性和電導率等特性發生變化,引起壓電晶體的聲表面波頻率發生漂移,從而檢測出氣體的濃度。聲表面波氣體傳感器屬于質量敏感型傳感器的一種,另外石英晶體微量天平氣體傳感器與聲表面波傳感器工作原理類似,也屬于質量敏感型傳感器。...
如MEMS陀螺儀應用在汽車上對汽車進行控制,近年隨著技術的進步,MEMS陀螺儀芯片已大量用于手機等終端設備中,IEC/TC47/SC47F也制定IEC 62047-20《半導體器件微電子微機械器件第20部分:陀螺儀》標準來規范手機用MEMS陀螺儀芯片的生產與測試;以及IEC 62047-5《半導體器件微電子微機械器件第5部分:RF MEMS開關》用來規范通信設備用射頻MEMS開關的參數要求和測試方法...
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