BS IEC 60747-14-11:2021
半導體器件半導體傳感器基于聲表面波的紫外、照度和溫度測量集成傳感器的測試方法

Semiconductor devices - Semiconductor sensors. Test method of surface acoustic wave-based integrated sensors for measuring ultraviolet, illumination and temperature

適用范圍: BS IEC 60747 ? 14 ? 11 是關于什么的？ BS IEC 60747 - 14 - 11 是多系列歐洲標準的第 14 部分，定義了可用于評估和確定基于表面聲波的半導體集成傳感器的性能特征的術語、定義、配置和測試方法。帶有紫外線、照度和溫度傳感器。 BS IEC 60747 ? 14 ? 11中描述的測量方法針對直流特性和射頻特性，其中射頻特性的測量方法包括直接模式和基于反饋振蕩的差分放大器模式。注：本 BS IEC 60747 ? 14 ? 11 不包括 TC 49 涉及的設備：壓電、介電和靜電設備以及相關材料...

術語	描述
表面聲波 surface acoustic wave	沿彈性基板表面傳播的聲波，其振幅隨基板深度呈指數衰減
叉指換能器 interdigital transducer	由梳狀導電結構制成的表面聲波換能器，沉積在壓電基板上，由交錯的金屬電極（指）組成，其功能是通過壓電效應將電能轉換為聲能或反之
紫外線傳感器元件 ultraviolet sensor element	具有敏感層的紫外線傳感器組件，可檢測頻率、相位、延遲、電荷等
可見光傳感器元件 visible-light sensor element	具有敏感層的可見光傳感器組件，可檢測頻率、相位、延遲、電荷等
中心頻率 centre frequency	相對于最小插入衰減達到指定值的兩個頻率的算術平均值

網絡分析儀	用于測量頻率、相位或插入損耗變化的設備