1、為什么半導體封裝領域會用到等離子清洗機? 等離子體工藝是干法清洗應用中的重要部分,隨著微電子技術的發展,等離子體清洗的優勢越來越明顯。半導體器件生產過程中,晶圓芯片表面會存在各種顆粒、金屬離子、有機物及殘留的磨料顆粒等沾污雜質。為保證集成電路IC集成度和器件性能,必須在不破壞芯片及其他...
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