潔凈室和相關控制環境 - 第1部分:通過顆粒濃度分類空氣清潔度 是非強制性國家標準,您可以免費下載預覽頁
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文件名 題目 狀態 簡介 ISO14644-1 通過顆粒物濃度對空氣潔凈度進行分類 2015 涵蓋潔凈室及其相關受控環境中的空氣潔凈度分類 ISO14644-2 監測通過顆粒濃度提供與空氣潔凈度相關的潔凈室性能的證據 2015 指定監控和定期測試潔凈室或潔凈區的要求,以證明其繼續符合ISO14644-1 ISO14644-3...
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