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SJ 20750-1999
軍用CMOS電路用抗輻射硅單晶片規范

Specification for radiation hardened monocrystal silicon wafers for millitary CMOS integrated circuits

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標準號: SJ 20750-1999
發布日期
實施日期
廢止日期: 無
中國標準分類號: L90
國際標準分類號: 31-030
發布單位: 行業標準-電子

適用范圍: 本規范規定了軍用CMOS電路用抗輻射硅單晶拋光片的要求，質量保證規定和交貨準備等。本規范適用于軍用CMOS電路用直徑為50.8 mm、76.2 mm和100 mm的抗輻射硅單晶拋光片。

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