JIS R1683-2007
用原子力顯微鏡方法測定陶瓷薄膜表面粗糙度的試驗方法

Test method for surface roughness of ceramic thin films by atomic force microscopy

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標準號

JIS R1683-2007

發布日期

2007年11月20日

實施日期

廢止日期

無

中國標準分類號

Q32

國際標準分類號

81.060.30

發布單位

日本工業標準調查會

引用標準

JIS B0601 JIS B0633 JIS B0651 JIS Z8401

代替標準

JIS R1683-2014

適用范圍

この規格は，基板上に形成したファインセラミックス薄膜の表面形狀のうち，算術平均粗さRaの範囲が1~3O nm，かつ，粗さ曲線要素の平均長さRSmの範囲がO.04~2.5 μmの表面粗さを，原子間力顕微鏡によって測定する方法について規定する。