ISO 25498:2018
微光束分析.解析電子顯微測定法.透射式電子顯微鏡對選定區域進行電子衍射分析
Microbeam analysis - Analytical electron microscopy - Selected area electron diffraction analysis using a transmission electron microscope
- 標準號
- ISO 25498:2018
- 發布
- 2018年
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 當前最新
- ISO 25498:2018
- 引用標準
- ISO/IEC 17025
- 適用范圍
- 本文件規定了使用透射電子顯微鏡 (TEM) 進行選區電子衍射 (SAED) 分析來分析薄晶體樣品的方法。 本文件適用于微米和亞微米尺寸的測試區域。 通過這種方法可以分析的樣品中選定區域的最小直徑受到顯微鏡物鏡的球面像差系數的限制，并且對于現代 TEM 而言接近數百納米。 當分析樣本區域的尺寸小于該限制時，本文件也可用于分析程序。 但是，由于球面像差的影響，圖案中的一些衍射信息可以從由所選區域孔徑定義的區域外部生成。 在這種情況下，如果可以的話，最好使用微衍射（納米束衍射）或會聚束電子衍射。 本文件適用于從晶體樣品中獲取 SAED 圖案、索引圖案和衍射常數的校準。
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