氧化鈰研磨液配方

上一篇 / 下一篇 2012-11-04 11:56:40/ 個人分類：配方

禾川化工專業從事氧化鈰研磨液成分分析配方分析，成分分析，配方研制，為研磨液相關企業提供整套技術解決方案一站式服務。

氧化鈰研磨液配方

氧化鈰研磨液廣泛應用于金屬表面處理，禾川化工專業從事氧化鈰研磨液配方分析，成分分析，配方研制；禾川化工為研磨液相關企業提供整套技術解決方案一站式服務；蘇州禾川化工新材料科技有限公司（簡稱：禾川技術），為企業，科研的生產研發提供專業化解決方案。禾川技術以蘇州大學為產學研基地，融合了中科院有機所、應化所、浙江大學、南京大學、蘇州大學、華東理工大學等多家科研機構與高校的外圍專家博士團隊，依托生物納米科技園、蘇州大學、中科院納米所強大的儀器測試平臺，憑借強大的科研實力，多年豐富的研發經驗，共同建立化工材料分析中心，新材料研發中心。禾川技術致力于化工行業材料檢測、材料分析、配方還原、新領域新材料的開發；推進新項目整體研發進度，縮短研發周期，推動化工產業自主研發的進程。

重金屬雜質 Fe會對硅片造成最嚴重的重金屬污染，當 Fe濃度達到 10¹⁰/cm3以上時，就會對器件失效造成極為嚴重的影響。而硅片的研磨工藝是造成器件鐵污染的主要原因。由于研磨工藝中使用的研磨機基本上都采用球墨鑄鐵材質，在研磨過程中磨料會使鑄鐵磨盤不斷損耗，大量的鐵進入研磨液中，而硅片表面裸露著的新斷的化學鍵，活性很強，極易吸附極性很強的鐵離子，形成準化學鍵，吸附在硅片表面，一般很難清洗下來，因而造成重金屬鐵污染。

在研磨液中，一般加入乙二胺四乙酸及其鉀鹽，它有五個螯合環能和幾十種金屬離子形成穩定的螯合物。也有采用一些高性能的鰲合劑來對研磨工藝中的重金屬離子進行鰲合，如河北工業大學劉玉嶺教授采用的乙二胺四乙酸四(四羥乙基乙二胺)FA/O螯合劑，它具有13個以上的螯合環，能對普通的重金屬離子產生較強的螯合能力。

切削液參考配方（僅供參考）

組份名稱	投料量(g/L)
油酸	30~40%
AEO-9	3~6%
吐溫60	1~2%
三乙醇胺	5~12%
二甲基硅油	0~2%
辛基酚聚氧乙烯醚	8~12%
油酸鈉	1~3%
聚乙二醇	8~14%
油酸三乙醇胺	4~6%
水	余量