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伯東公司主要經營產品德國 Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規管);氦質譜檢漏儀；質譜分析儀；真空系統以及美國Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源,Gamma離子泵. 網站: www.hakuto-vacuum.cn TEL: +86 (021) 5046-3511轉106 Fax : +86 (021) 5046-1490 E-mail: ec@hakuto-vacuum.cn

伯東 KRI 考夫曼離子源 KDC 160 輔助鍍制 HfO2 薄膜

上一篇 / 下一篇 2020-10-12 14:25:50/ 個人分類：離子源

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傳統直接蒸發 HfO₂塊材料, 容易產生節瘤缺陷, 吸收很大, 限制了薄膜的激光損傷閾值, 因此, 為了獲取高質量的 HfO₂薄膜, 某機構采用 KRI 考夫曼離子源 KDC 160 輔助鍍制 HfO₂薄膜.

客戶的樣品基底材料為 K9 玻璃, 靶材為 HfO₂塊材料, 運行的離子源偏壓為 90V.

KRI 考夫曼離子源 KDC 160

伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 160 技術參數:

離子源型號	離子源 KDC 160
Discharge	DC 熱離子
離子束流	>650 mA
離子動能	100-1200 V
柵極直徑	16 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	2-30 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長度	25.2 cm
直徑	23.2 cm
中和器	燈絲

* 可選: 可調角度的支架

應用結果：

通過使用伯東 KRI 考夫曼離子源 KDC 160 在偏壓為 90V 時, 制造得到的HfO₂ 薄膜晶粒減小, 膜結構更均勻, 緩解了激光能量的局部聚焦, 因此具有較高的損傷閾值.

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

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上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
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