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伯東公司主要經營產品德國 Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規管);氦質譜檢漏儀；質譜分析儀；真空系統以及美國Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源,Gamma離子泵. 網站: www.hakuto-vacuum.cn TEL: +86 (021) 5046-3511轉106 Fax : +86 (021) 5046-1490 E-mail: ec@hakuto-vacuum.cn

伯東 KRI 考夫曼離子源 KDC 10 用于 IBF 離子束拋光工藝

上一篇 / 下一篇 2020-09-25 10:11:03/ 個人分類：離子源

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上海伯東是美國考夫曼博士創立的考夫曼公司 KRI 考夫曼離子源中國總代理.

某光學鏡片制造商為了使光學鏡片的拋光刻蝕速率更快更準確, 拋光后的基材上獲得更平坦, 獲得均勻性更高的薄膜表面, 而采用伯東 KRI 考夫曼離子源 KDC 10 用于 IBF 離子束拋光工藝.

KRI 離子源 KDC 10 客戶實際安裝圖如下：

客戶基材: 100 mm 光學鏡片

離子源條件: Vb: 800 V ( 離子束電壓 ), Ib: 84 mA ( 離子束電流 ) , Va: -160 V ( 離子束加速電壓 ), Ar gas ( 氬氣 ).

伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 技術參數：

Discharge: DC 熱離子

離子束流: >10 mA

離子動能:100-1200 V

柵極直徑:1 cm Φ

離子束:聚焦, 平行, 散射

流量:1-5 sccm

通氣:Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力:< 0.5m Torr

長度:11.5 cm

直徑:4 cm

中和器:燈絲

KRI 離子源 KDC 10 客戶使用結果:

離子束拋光前平坦度影像呈現圖

離子束拋光后平坦度影像呈現圖

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
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