烷基硅烷

本專題涉及烷基硅烷的標準有3條。

國際標準分類中，烷基硅烷涉及到半導體材料、有色金屬、化工產品。

在中國標準分類中，烷基硅烷涉及到半金屬及半導體材料分析方法。

RU-GOST R，關于烷基硅烷的標準

• GOST 26239.9-1984 三氯硅烷.氯甲烷，氯乙烷，丁烷，異丁烷、二氯化甲烷、三氯甲烷、四氯化碳、甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、氯甲烷甲基硅烷測定法
• GOST 20841.7-1975 有機硅產品.烷基氯硅烷成分氣體色譜分離測定法

工業和信息化部，關于烷基硅烷的標準

• YS/T 1300-2019 氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的測定 氣相色譜質譜聯用法

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