離子 質譜法
本專題涉及離子 質譜法的標準有9條。
國際標準分類中，離子 質譜法涉及到金屬材料試驗、分析化學。
在中國標準分類中，離子 質譜法涉及到半金屬及半導體材料分析方法、基礎標準與通用方法。
國家質檢總局，關于離子 質譜法的標準
- GB/T 42263-2022 硅單晶中氮含量的測定 二次離子質譜法
- GB/T 32281-2015 太陽能級硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的測定 二次離子質譜法
- GB/T 42274-2022 氮化鋁材料中痕量元素（鎂、鎵）含量及分布的測定 二次離子質譜法
國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會，關于離子 質譜法的標準
- GB/T 39144-2020 氮化鎵材料中鎂含量的測定 二次離子質譜法
- GB/T 41153-2021 碳化硅單晶中硼、鋁、氮雜質含量的測定 二次離子質譜法
日本工業標準調查會，關于離子 質譜法的標準
- JIS K 0158:2021 表面化學分析. 二次離子質譜法. 單離子計數動態二次離子質譜法中飽和強度的校正方法
- JIS K 0153:2015 表面化學分析. 二次離子質譜法. 靜態二次離子質譜法中相對強度范圍的重復性和穩定性
英國標準學會，關于離子 質譜法的標準
- BS ISO 23830:2008 表面化學分析.次級離子質譜法.靜態次級離子質譜法中相對強度數值范圍的重復性和穩定性
- 07/30138812 DC BS ISO 23830 表面化學分析 二次離子質譜法 靜態二次離子質譜法中相對強度標度的重復性和恒定性
