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CEN ISO/TS 80004-8:2015
納米技術.詞匯表.第8部分:納米制造過程(ISO/TS 80004-8:2013)

Nanotechnologies - Vocabulary - Part 8: Nanomanufacturing processes (ISO/TS 80004-8:2013)

被代替

標準號: CEN ISO/TS 80004-8:2015
發布: 2015年
發布單位: 歐洲標準化委員會
替代標準: CEN ISO/TS 80004-8:2020
當前最新: CEN ISO/TS 80004-8:2020; FprCEN ISO/TS 80004-8:2020

引用標準: BS PAS 135-2007 ISO 11074:2015 ISO 19353:2005 ISO 2080:2008 ISO 3252:1999 ISO 836:2001 ISO/TS 27687:2008 ISO/TS 80004-1:2010 ISO/TS 80004-3:2010 ISO/TS 80004-4:2011 ISO/TS 80004-6:2013
被代替標準: FprCEN ISO/TS 80004-8:2015

適用范圍: 本技術規范包含與納米技術領域的納米制造工藝相關的術語和定義。它代表了涵蓋納米技術各個方面的術語和規范的多部分文檔的一部分。本文件中的所有工藝術語均適用于納米制造。列出的許多過程并不完全與納米級相關。根據可控條件，此類過程可以產生納米尺度或更大尺度的材料特性。還有許多其他與納米制造相關的術語，涉及工具、零件、材料、系統控制程序或計量程序，但這些不屬于本文檔的范圍。

CEN ISO/TS 80004-8:2015相似標準

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