使用的阻擋層金屬是TN、鉭(Ta)和氨化鉭(TaN)。5)難熔金屬和難熔金屬硅化物雖然通過采用鋁合金和阻擋層金屬技術,電遷徙和共晶合金的限制已被緩解,接觸電阻的問題或許成為鋁金屬化的最終限制。金屬系統的全面效果由電阻率、長度、度和全部金屬和晶圓互連的總的接觸電阻所決定。在簡單的鋁系統中,有兩個接觸:硅-鋁互連和鋁互連-壓焊線。...
焊接頭中心砂輪切割機熱鑲嵌機研磨拋光焊接接頭樣品的研磨選用常規碳化硅砂紙即可,在粗拋/中拋時為保證樣品表面的平整性,優先選擇中等或細線束編織拋光布。推薦以下可參考工藝:腐?蝕試樣采用 10%氫氧化鈉水溶液腐蝕,下圖為樣品宏觀形貌圖。下方圖示為鋁合金電阻點焊接頭的宏觀結構和特征尺寸示意圖。...
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