GB/T 31470-2015
俄歇電子能譜與X射線光電子能譜測試中確定檢測信號對應樣品區域的通則

Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers

適用范圍: 本標淮規定了俄歇電子能譜和部分類型的X射線光電子能譜檢測信號對廊樣品區域的確定方法”本標準適用于俄歇電子能譜儀和具有以下條件的X射線光電子能譜=入射X光束激發的樣品區域大于分析器可檢測到的樣品區域;光電子從樣品到分析器入口的過程中經過自由空間薯裝配有轄助電子槍可以產生一束可變能量的電子束照射到樣品上″

術語	描述
俄歇電子能譜 Auger electron Spectrometer	利用電子束激發樣品表面產生的俄歇電子來進行元素分析的方法。
X射線光電子能譜 X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)	通過入射X射線激發光電子來研究材料表面成分和結構的技術。
半高峰寬 Half Maximum Width (FWHM)	能量分布的寬度參數，用于評估分析器的能量分辨率。

俄歇電子能譜儀配備輔助電子槍和能量分析器	用于檢測樣品表面發出的俄歇電子信號。
X射線光電子能譜儀具備入射X光束功能	用于激發并檢測光電子信號以分析樣品表面。