光刻是集成電路最重要的加工工藝,他的作用,如同金工車間中車床的作用。光刻是制造芯片的最關鍵技術,在整個芯片制造工藝中,幾乎每個工藝的實施,都離不開光刻的技術。光刻機一般根據操作的簡便性分為三種,手動、半自動、全自動。手動:指的是對準的調節方式,是通過手調旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對準,對準精度可想而知不高了。半自動:指的是對準可以通過電動軸根據CCD的進行定位調諧。...
如今五軸數控加工機床的應用越來越普及,廣大用戶對五軸加工技術掌握明顯提升,隨著產品精度要求的提升和加工自動化程度的提高,機床自身精度檢測、補償和機內自動測量技術的應用受到空前的重視。在提供優質、創新型數控系統產品和測量產品的同時,為了更好的向用戶提供整體解決方案,西門子和雷尼紹技術隊伍強強聯合,探討了五軸機床精度檢測和機內測量產品在Siemens 840D sl上的實現和應用。...
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