GB/T 13843-1992
藍寶石單晶拋光襯底片
Polished monocrystalline sapphire substrates
GBT13843-1992, GB13843-1992
- 標準號
- GB/T 13843-1992
- 別名
- GBT13843-1992
GB13843-1992 - 發布
- 1992年
- 采用標準
- SEMI M3-1983 REF
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 13843-1992
- 本標準規定了生長硅的高純藍寶石單晶拋光襯底片的技術要求、測試方法、檢驗規則。 本標準適用于制備半導體器件的生長硅的高純藍寶石單晶拋光襯底片。
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