對長度測量示值誤差進行校準,也可以用于實際被測樣品的長度測量值進行修正,這也是國家標準中利用掃描電鏡進行納米級長度測量時的要求。可直接利用經過校準的線寬、線間距、格柵型等標準樣品對掃描電鏡長度測量示值誤差進行校準。 3、X射線能譜儀的校準 X射線能譜儀是分析型掃描電鏡必備的重要附件,其功能是進行化學元素的半定量或定量分析。...
掃描電子顯微鏡的放大倍數和分辨力雖然沒有透射電子顯微鏡高,但是也能放大幾十萬倍,可以看到幾個納米的物體,用于測量大于10nm的顆粒物是可行的。更重要的是:掃描電子顯微鏡可以觀察很厚的樣品,容易制造長度標準器具。已有合理合法的供掃描電子顯微鏡使用的長度標準器具。...
掃描電子顯微鏡 (scanning electron microscope, SEM) 是一種用于高分辨率微區形貌分析的大型精密儀器 。具有景深大、分辨率高, 成像直觀、立體感強、放大倍數范圍寬以及待測樣品可在三維空間內進行旋轉和傾斜等特點。另外具有可測樣品種類豐富, 幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌、結構、成分和結晶學信息等優點。...
掃描電鏡的原理介紹:?掃描電子顯微鏡是一種利用高能聚焦電子束掃描樣品表面,從而獲得樣品信息的電子顯微鏡。所以其使用電子束為照明源,電子束在樣品表面掃描,利用電子和物質作用所產生的信息結合電子光學原理進行成像。判斷掃描電鏡性能主要依據分辨率和有效放大倍數。分辨率即能夠分辨的小距離。?...
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