BS EN 62047-21:2014
半導體器件. 微型機電裝置. 薄膜MEMS材料泊松比試驗方法
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
- 標準號
- BS EN 62047-21:2014
- 發布
- 2014年
- 發布單位
- 英國標準學會
- 當前最新
- BS EN 62047-21:2014
- 引用標準
- ASTM E132-04(2010) EN 62047-8:2011 IEC 62047-8-2011
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