GB 51034-2014
多晶硅工廠設計規范
Code for design of polysilicon plant
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- 標準號
- GB 51034-2014
- 發布
- 2014年
- 總頁數
- 121頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB 51034-2014
- 引用標準
- G GB 50009 GB 50010 GB 50011 GB 50013 GB 50014 GB 50015 GB 50016 GB 50019 GB 50025 GB 50029 GB 50034 GB 50040 GB 50041 GB 50046 GB 50050 GB 50052 GB 50057 GB 50058 GB 50073 GB 50112 GB 50140 GB 50160 GB 50177 GB 50187 GB 50189 GB 50217 GB 50222 GB/T 50102
本規范適用于采用三氯氫硅氫還原法的新建、擴建和改建多晶硅工廠的工程設計,也適用于硅烷歧化法多晶硅廠中三氯氫硅合成、四氯化硅氫化和氯硅烷提純的工程設計。
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