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  • QB/T 4540-2013
    超高壓短弧汞燈

    Super high pressure short-arc mercury lamp

    QBT4540-2013, QB4540-2013


    標準號
    QB/T 4540-2013
    別名
    QBT4540-2013, QB4540-2013
    發布
    2013年
    發布單位
    行業標準-輕工
    當前最新
    QB/T 4540-2013
     
     
    引用標準
    GB/T 191 GB/T 2423.10 GB/T 2423.6 GB/T 2423.8 GB/T 2829 GB/T 2900.65
    適用范圍
    本標準規定了超高壓短弧汞燈(以下簡稱“燈”)的術語和定義、分類和型號命名、要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于光刻、光固化、老化試驗等設備中的曝光用直流超高壓短弧汞燈。

    專題


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