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EN ISO 14644-10:2013
潔凈室和相關控制環境.第10部分:通過化學濃縮進行表面潔凈度分類

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration

被代替

2022-08

標準號: EN ISO 14644-10:2013
發布: 2013年
發布單位: 歐洲標準化委員會
替代標準: EN ISO 14644-10:2022
當前最新: EN ISO 14644-10:2022

引用標準: ISO 14644-1:1999 ISO 14644-6:2007
被代替標準: FprEN ISO 14644-10:2012

適用范圍: ISO 14644 系列的這一部分根據存在的化合物或元素（包括分子、離子、原子和顆粒）規定了潔凈室表面清潔度的分類系統。 ISO 14644 系列的這一部分適用于潔凈室和相關潔凈室區域的所有固體表面，例如B. 墻壁、天花板、地板、工作區域、工具、設備和裝置。注 1：對于 ISO 14644 系列本部分的應用，僅考慮顆粒的化學性質。不考慮顆粒的物理特性，ISO 14644 系列的這一部分不處理污染物與表面之間的相互作用。注 2：ISO 14644 系列的這一部分不包括污染物產生過程和時間相關效應（沉積、沉降、老化等）或過程相關活動，例如B. 運輸和裝卸。它也不提供有關統計質量控制程序的指導以確保合規性。

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