但是束流密度小,信噪比差,難以滿足超高分辨率的需要,壽命短。氧化釔銥(Y2O3-Ir)陰極:以金屬銥為基材,氧化釔為電子發射涂層的陰極。其工作溫度約為2000K,發射電流密度為10A/cm2,逸出功約2eV。相較于鎢陰極,工作溫度比鎢陰極低700K,所以蒸發量少,壽命略長;逸出功低。在相同工作溫度下,亮度更高。但加工工藝復雜,成本較高,且耐離子轟擊的能力較差。...
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